光学元件及用它的射线检测器
2019-11-22

光学元件及用它的射线检测器

射线检测器(10),具有:排列成其入射端面(12a、14a、16a)大体上配置在同一平面上的三个光学构件(12、14、16);设置在光学构件(12、14、16)的入射端面(12a、14a、16a)上的闪烁器(18);对从光学构件(12、14、16)的出射端面(12b、14b、16b)所输出的光图像进行摄像的多个CCD(20);以及把从光学构件(12、14、16)的出射端面(12b、14b、16b)所输出的光图像引导到CCD(20)的多个导光用光学构件(22)。各光学构件(12、14、16)由具有光吸收特性的粘接剂(24)粘接固定,其间隔为10~15μm。此外,在闪烁器(18)上设有保护膜(26)。

在各个导光用光学构件22的出射端面22b上,连接着CCD 20。因而,根据本实施例的射线检测器10备有12个CCD 20。

第1层28由聚对二甲苯树脂组成,形成为接触于闪烁器18。更具体地说,填满CsI的柱状构造体的间隙,并且从该柱状构造体的最顶部再生长10μm左右而形成。作为这种聚对二甲苯树脂,存在着スリボンド公司制的パリレン(商品名)等。聚对二甲苯树脂具有除了水蒸气和气体透过极少,憎水性、耐药品性也很高之外,即使是薄膜也有优良的电气绝缘性,对射线、可见光是透明的等与保护闪烁器18相称的优良特征。

在医疗、工业等领域中,迅速而高精度地对射线图像进行检测、摄像的射线检测器的必要性正在增加。例如备有把射线图像变换成光图像的闪烁器、对这种光图像摄像的摄像元件、以及把从闪烁器所输出的光图像引导到摄像元件的导光用光学构件的射线检测器是公知的。

通过排列三个光学构件12、14、16而一体化的入射端面12a、14a、16a上,通过气相生长来形成随着X射线等射线的入射而发出可见光的闪烁器18。闪烁器18由CsI构成并且形成为从入射端面12a、14a、16a沿大体上垂直方向延伸600μm左右的柱状构造体的排列。

图2的层30由Al组成,在第1层28上形成为具有0.25μm左右的厚度。Al因为具有透过射线,反射可见光的性质,故可以防止在闪烁器18中发生的光漏到外部,可以提高射线检测器10的灵敏度。

此外,根据本实施例的射线检测器设置CCD 20,由此可有效地对入射到闪烁器18的射线图像进行摄像。进而,备有导光用光学构件22,由此可把从光学构件12、14、16的出射端面12b、14b、16b出射的光图像高效地引导到CCD 20。